【大纪元2016年07月20日讯】（大纪元记者林宝云台湾新竹报导）以浸润式（Immersion）微影技术改写全球半导体微影发展的台积电前研发副总经理、中研院院士林本坚，今年加入清华大学，担任讲座教授。
林本坚表示，他原规划退休之后，只做两件事，就是传福音及帮助人得到更丰富的生命，后来一想，教书也是帮助人得到丰富生命的好方法，“我在产业界服务了46年，学到很多，也希望能教给下一代。除了教导专业知识外，他点出，学生在校常只为自己的成绩竞争，因此希望能激发学生创意，教导他们解决问题以及团队合作的能力。这是他想教给清华学生的一项重要能力。
清华光电所自林本坚加入研究团队后，已举办3场“林本坚院士学术沙龙”，邀请林本坚与清华教授讨论光电领域发展以及微影制程研究。林本坚表示，清华光电所教授们的研究题目有些让他很有兴趣，希望未来能与教授合作，协助教授研究发展。
林本坚曾任职于IBM在美国的研究中心，带领团队创造出许多领先全球的技术，在工作22年后选择在美国自行创业将近10年。2000年加入台积电， 2002年开始推动浸润式微影技术。“不管遇到什么问题，不能死守一种方法，要把心放上去，把问题解决。”林本坚创全球之先提出的浸润式微影技术，以水为介质，在镜头和晶圆之间注入水，光的波长在水中缩短为134奈米，得以刻出更精密的晶片，此项技术对全球半导体产业及台积电先进制程贡献极大。他在台积电研发的期间带领团队从130奈米、做到90奈米、65奈米、40奈米、28奈米、20奈米、和16奈米，并开始研发10奈米、7奈米、和5奈米。
林本坚获奖无数，曾10度获美国IBM杰出发明奖、美国IBM杰出贡献奖、2008年当选美国国家工程学院院士，因浸润式微影技术的创新，获颁2013年国际电机电子工程师学会（IEEE）西泽润一奖、及2009 Cledo Brunetti 奖、2013工业研究院院士、2008 俄亥俄州立大学杰出校友、2004国际光学和光电学会(SPIE)的首届Frits Zernike奖、2004潘文渊文教基金会研究杰出奖、2003 IEEE会士、2003 SPIE 会士；2014年获选为中研院院士，为国内最高学术殿堂首位企业界院士。
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