本土材料科學團隊研究成果獲刊Science

【大紀元8月22日報導】（中央社記者何宏儒台北二十二日電）台灣學術研究成果再度獲刊「科學（Science）」期刊。 國立清華大學研究團隊研究積體電路晶片中極微細的銅導線，發現在高密度電流作用下，銅原子在晶界的擴散行為，受奈米雙晶結構影響，會產生遲滯現象。

相關成果除為全球首度直接觀測到原子在晶界擴散的行為；更發現在高密度電流作用下，雙晶結構約可延緩銅導線的孔洞生成速率達 10分之1。由於電子產品體積趨小，設法降低或減少積體電路內銅導線，因電遷移所造成之孔洞生成，有助提高產品壽命。

清大材料科學與工程學系教授陳力俊（刻借調國家科學委員會任副主任委員）於2002至2006年間主持「先進材料原子層級結構與動力學研究」，建構「臨場超高真空穿透式電子顯微鏡系統」。陳力俊表示，該系統耗資逾 200萬美元，全球約僅10部，為研究材料原子尺度結構及動力機制的無雙利器。

藉由該頂級設備，研究團隊發現，若將高密度奈米雙晶結構導入積體電路晶片中的銅導線，將可有效降低因電致遷移現象所導致之電子元件失效問題。清大材料科學與工程系副教授廖建能說，研究成果對下一代積體電路製程技術的開發，具極重要啟發意義。

研究團隊成員包括論文第一作者清大材料科學與工程系博士陳冠嘉、共同第一作者交通大學材料科學與工程學系助理教授吳文偉、通訊作者廖建能，以及共同作者陳力俊、中央研究院院士杜經寧。

該研究獲國科會、教育部經費補助。成果獲刊今天出刊「科學」期刊上。國科會表示，該論文由台灣學者主導、本地完成，殊屬難得。