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奈米製程
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台積電導入乾式光罩潔淨技術 創20億元效益
2020/07/31
台積電持續精進製程,自107年起導入乾式極紫外光(EUV)光罩潔淨技術,解決無保護膜EUV光罩的落塵問題,今年成功使落塵削減率超過99%...
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