拆解曝光机后装不回去 中企向艾斯摩尔求助

【大纪元2025年10月21日讯】（大纪元记者唐迪台湾台北报导）中国某晶片企业疑试图透过逆向工程仿制曝光机，让技术人员私拆了一部艾斯摩尔（ASML）制造的DUV（深紫外光）曝光机，却无法将其复原，只能向ASML求助，却被ASML的技术团队看出事有蹊跷。

美国政治外交杂志《国家利益》（The National Interest）的高级编辑、地缘政治分析师怀契特（Brandon Weichert）上周六（10月18日）在X平台发文，透露上述事件。

怀契特说，中国某企业的DUV机器最近坏了，打电话给荷兰制造商ASML请求维修。ASML派来的技术人员到现场却发现，是中方的人员在拆卸机器并试图重新组装时，把机器弄坏了。

被拆的机器是早期的DUV型号，这类设备虽不及EUV（极紫外光）曝光机先进，但仍能支持14奈米晶片的制造，甚至部分更先进制程，是中国半导体厂商依赖的重要机型。

北京将更难回避西方制裁

怀契特分析，中企的技术人员之所以拆卸旧款DUV曝光机，是因为他们试图对现有设备进行逆向工程，以期找到自主研发更先进版本的方案，但是显然他们没能成功，而这或许让他们逃避西方制裁的计划都泡汤了。

他写道：“我不知道ASML是否真的完成了维修工作。虽然中国与这家荷兰公司签订了维修协议，但考虑到中国客户的不当行为导致机器故障，我不认为这份合约会得到履行。”

“北京正变得越来越绝望”，怀契特接着写道，“事实上，我们知道他们的经济正在放缓，自新冠疫情以来，（中共党魁）习近平的统治一直很脆弱。”

曝光机零件或被自动锁死

微信公众号“极道”周一（10月20日）发文进一步透露，当ASML的技术人员到达现场后发现，机器内部多个关键模组错位、镜片划伤、真空腔体密封失效，甚至部分感应器被错误接线烧毁。他们判断，这不是普通的机器故障，很可能是中方人员拆解不当造成的损坏。

文中介绍，ASML曝光机的结构极其复杂，内部包含上千个高精度光学、流体与控制模组，很多零件甚至由多国联合制造，设计严密且不可逆，机器内部很多关键部件甚至被封装成黑盒。一般的技术人员如果强行拆解，这些部件就会自动锁死。◇

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责任编辑：吕美琪