【大纪元2024年05月15日讯】（大纪元记者侯骏霖台湾台北报导）台积电高层15日透露，台积电预定在2026下半年发布的次世代技术制程“A16”，不一定需要使用荷兰半导体设备业龙头艾司摩尔（ASML）最新型机台，主要原因是设备价格非常高昂，外媒披露一部高数值孔径极紫外光曝光机（High-NA EUV）就要价超过新台币百亿元。
综合媒体报导，台积电是艾司摩尔一般极紫外光曝光机的最大客户，但台积电业务开发资深副总经理张晓强出席荷兰阿姆斯特丹的研讨会时，首度谈及台积电A16先进制程节点，不一定需要使用ASML的High NA EUV设备，认为现有EUV能力应有办法支援，台积电可继续使用已拥有的旧款EUV。
张晓强说，使用新的ASML技术，公司都会评估是否能带来最佳经济效益，取得平衡点。他也提及，“我喜欢这项技术、但不喜欢高昂的价格”，因为营运晶圆厂的成本，包括营建、工具、电力及原物料持续上涨，已成为产业界面临的集体挑战。
究竟ASML这款新设备High-NA EUV有多贵？外媒表示，每台要价高达3.5亿欧元（约新台币121.9亿元），可协助将晶片设计缩小最多2/3，重量等同于两台空巴A320客机，但价格也远高于一般EUV设备价格的2亿欧元（约新台币69.6亿元）。
此外，台积电欧洲子公司总经理Paul de Bot表示，位于德国德勒斯登（Dresden）的欧洲半导体制造公司（ESMC）将如期在今年动工、2027年投产。
张晓强认为，他相信《欧洲晶片法》为该厂提供的补贴应能获准，德勒斯登厂将生产22奈米晶片，提供最先进的微控制器（MCU）供应大型汽车客户所需，且不排除台积电会在欧洲扩大投资，生产更先进晶片，但这可能还需要数年时间。
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