台湾清大半导体学院揭密 打造小型晶圆厂练兵

【大纪元2022年09月12日讯】台湾为延续半导体优势地位,在全台成立4个半导体学院,其中由中研院院士林本坚领导的清华大学团队是佼佼者,除拥有豪华师资阵容外,隐藏在后山的奈材中心实验室,大手笔购置了许多仪器,如同一座小型晶圆厂,成为练兵秘密基地。

据中央社报导,台湾有4个半导体学院,除清大半导体学院外,其他3所包括台大“重点科技研究院”、阳明交大“产学创新研究学院”、成大“智慧半导体及永续制造学院”。今年2月,清大半导体学院已有少部分学生提前入学,并于9月全面开学上课。

林本坚蜗居鞋盒办公室作育人才
办公桌、柜子、沙发,几乎将整个空间塞满,连一个窗户也没有,宛如鞋盒般大小的空间,这是台湾清华大学半导体学院院长林本坚的办公室。(中央社)

“浸润式微影之父”林本坚蜗居鞋盒办公室作育人才

办公桌、柜子、沙发,几乎将整个空间塞满,屋内没有对外窗,宛如鞋盒外型的空间,很难相信这是外界誉称台积电“研发6骑士”之一的林本坚目前在清华大学半导体学院的办公室。林本坚是越南侨生,靠着优秀的研究头脑,一路读书都很顺遂。他在台积电地位崇高,和前资深研发处长梁孟松、杨光磊、前营运长蒋尚义、前技术长孙元成、前研发副总经理余振华等6人,被誉为台积电“研发6骑士”。

清大半体学院去年刚成立,学院大楼还在兴建中,林本坚只好暂时窝在没有窗户的简陋办公室,昔日业界同僚来访时惊讶直呼“你怎么在鞋盒里办公?”林本坚却不以为意。专访当天,他兴致勃勃向记者展示他放在电脑前,自制的护眼投影幕;这位被誉为“浸润式微影之父”的大师,眼中流露的尽是科学家发明的热情。

半导体学院超越业界利益考量 可在技术前端探路冒险
台湾清华大学半导体学院院长林本坚说,产业界考量商业利益,通常只研发下一代技术,半导体学院则可超前部署,尽情探路、冒险。图为清大实验室无尘室。(中央社)

他20年前在台积电担任研发处长时,以浸润式微影技术,成功把摩尔定律推进6个世代;20年后,产业面临空前的人才困境,80岁的林本坚再次扛下重担,出任清大半导体学院院长,成为台湾半导体护国神山群的坚强后盾。

被誉为半导体界爱因斯坦的他,是美国国家工程学士、中研院院士,为何不像其他台积电退休高层,周游列国享福,却要亲自出马做这样吃力的工作?他仅淡淡地说“我觉得这好像是我应该做的事情。”

推动产业前进下世代 林本坚:半导体需要活才

美中贸易战、COVID-19(中共病毒)疫情扰乱全球政经局势,却也意外让半导体产业迎来“超级景气循环周期”,企业满手订单、获利频频创高,气势如日中天。不过,产业大老未见喜色,反而频频示警、投书媒体,疾呼政府应正视半导体人才荒困境。林本坚指出,地缘政治掀起的在地生产趋势,恐让人才荒严重程度膨胀数倍。

林本坚自台积电退休后就在清大任教,去年在清大校长贺陈弘邀请下,出任清大半导体学院院长,“我在半导体、微影领域里面差不多累积50年经验,有机会把这个传给下一代,是很好的事情。”本着传承与回馈的精神,林本坚毅然决然地在80岁这年,交付自己新的任务,即培育半导体产业的“活才”。

地缘政治升温 半导体在地制造走回头路
地缘政治升温,全球拼在地制造。台湾清大半导体学院院长林本坚说,花很多功夫才进化到现在这阶段,硬要回到以前,就是退化;不仅更没效率,还会让人才缺口急速膨胀。(中央社)

林本坚说明,要培育学生成为领导者,必须先让学生练就特定领域的研究本领成为“专才”;而半导体科技讲究互助合作,得了解其他各部的语言、理论,因此需要“通才”;但要能开创新的方向和领域、让人追赶,就得是位“活才”才能办到。

在政府大力推动、产学携手下,台湾现有4座半导体学院,清大半导体学院特点是设有元件、设计、材料及制程4部。第一学期安排导读,学生除了熟读本部内容,还要学习其他3部的概论,对半导体产业全貌有基本理解,才能稳扎稳打,让学生逐步从专才、通才走向活才。

半导体产业要持续往下世代推进,制程是关键一环;然而制程是由产业界主导,所有学校都缺乏足够师资。林本坚动用在半导体长期的丰厚人脉,找来重量级师资,他在台积电的得意部属高蔡胜,目前便担任半导体学院制程部主任。

林本坚:政府应大力保护台积电
前台积电研发副总经理林本坚说,半导体绝对是台湾重要产业,又占有这么多优势,“假使不让它继续发展,这是很愚蠢的”,政府应大力保护台积电。(中央社)

此外,包括微影设备大厂艾司摩尔(ASML)副总经理严涛南、台积电卓越科技院士暨副总经理余振华、力积电研发副总经理张守仁及前联电研发副总经理游萃蓉等,均是来自产业界的豪华师资。

位于清华大学校园后山的清华实验室更是练兵的秘密基地,不含内部精密设备仪器,光是实验室的造价就高达新台币7亿元,一楼的奈微与材料科技中心实验室更是台湾校级单位配备设备最精良、规模最大的实验室。

奈材中心实验室虽然没有价格高达上亿欧元的先进极紫外光(EUV)微影系统,但也有以优惠价新台币4,000万元向日本购入的电子束微影系统,原价达8,000万元,这对产业界或许仅是零头,但已经让很多学校羡慕不已。

奈材中心实验室设有无尘室,进入前要穿着连身的无尘衣帽、手套、口罩,并经过风淋室;走进无尘室后,可看到镀膜设备,还有黄光区,配备有蚀刻及微影制程设备,有如一座小型晶圆厂。学生在学校可以先接触实作,进入产业界前,预先有心理准备。

除了重量级师资与实作场域,学研界与产业界的合作也势在必行。林本坚指出,产业界考量商业利益,通常只研发下一代技术,下两、三代技术就没有办法了;半导体学院则可超前部署,尽情探路、冒险。

“我们跟产业合作,但也有自己的主见”,林本坚认为,应鼓励教授大胆尝试,失败也没有关系,从中学到功课,下次才能做更好的东西。

培育本地博士 布局前瞻研究为产业未来领路

根据104人力银行最新发布的“2022年半导体人才白皮书”,半导体产业人才需求自2020年第3季开始走升,2021年第1季起持续创新高,到了今年第1季平均每月需求已窜升至3.5万人,年增幅高达39.8%;半导体产业无畏近年国际局势动荡,逆势大爆发,更加剧“求才若渴”状况。

不过产业缺人才不仅是“量”的问题,前台积电技术长、现任阳明交大创新研究院总院长孙元成,阳明交大国际半导体产业学院长张翼及林本坚均不约而同地说“半导体产业不只缺人才,更缺博士级人才”。

“台湾现在念博士的风气不好”,林本坚坦言,台湾因为少子化,学龄年轻人持续下滑,业界需求量又大、薪资水准也不错,导致多数学生硕士毕业后,就马上投入职场。

但林本坚指出,博士修课时间长、学分也多,才能真正深入研究;如果只有硕士,硕二带硕一做研究,“他才会一点点,就要带人做研究?而且硕士要修的课顶多20几学分,能够学什么?”

长期积累的风气难以马上扭转,林本坚原先希望半导体学院招收学生以博士为主,但考量现实因素,最后仍调整为每年招收80名硕士、20名博士。

现实泼冷水 林本坚大叹:好好做不容易

政府大力支持下,全台4大半导体学院均已到位,但让林本坚错愕的是,学院成立后面临的首个挑战竟是来自僵固的政府制度。他苦笑着说,半导体学院希望找来有潜力、优秀的学生,宁缺勿滥,没想到引来教育部质疑为何没有满额招生,“我们说不好我们不要,结果教育部说,没招满明年就给你少一点(名额)”。

林本坚原以为只要做个好院长、好教授,后来发现光在行政事务耗费的心力就超乎想像;想要扭转产业缺人才的结构问题,势必得有大破大立的举动,但制度松绑来不及跟上,“要好好做,不是那么容易”。

清华实验室 培育半导体人才
台湾清华大学校园后山的清华实验室是培训半导体人才的练兵基地,不含内部精密设备仪器,光是实验室的造价就高达新台币7亿元。(中央社)

他举例,一个普通教授在台湾的薪资是香港的1/4,也可能是新加坡的几分之一,更不要讲美国、欧洲,这样的薪资条件要争取好教授并非易事;然而,若要提高薪资水准延揽人才,政府高层即使愿意,但很多公务员还是习惯以前的做法,导致实务上推进有限。

再从资金面来看,半导体学院是由政府及产业共同出资,但台湾产业界的问题是要“给钱就要回收”,不会平白捐给学校,一定要做业界有兴趣的研究计划;当资金都放在研究计划与教授的人事上时,最后能运用于经营学院的钱所剩无几。

政府与产业携手合资成立半导体学院蔚为美谈,学院运作却困于体制,绑手绑脚。林本坚形容,清大半导体学院“寄人篱下”,一开始连教室、老师都没有,所幸清大深知学院的重要性,在学院第一届招生时的审查、口试等过程,得到许多人的协助。

凡事起头难,尽管起步不如预期顺遂,林本坚仍期待半导体学院能够实现愿景,除了给学生领导者的配备,对于没有碰过的问题也能迅速找到解方的“活才”,也期许擦亮本土博士的招牌,培育出与柏克莱大学、史丹福大学平起平坐的世界级博士。

若有人泄漏营业秘密 林本坚:不尊重同僚、也不尊重公司行为

林本坚谈起“互尊、互信、互助”的职场心法时,他将“互尊”放在首位,不仅是尊重他人,更要尊重他人的成就,以及环境给予的帮助。

扛重担掌半导体学院 林本坚:好像是我该做的事
在半导体在地化制造加剧人才荒,年已80岁的林本坚再次扛起重责,应允担任台湾清大半导体学院院长,他淡淡地说,“我觉得这好像是我应该做的事情”。(中央社)

高科技产业相当注重技术研发,要求员工签署竞业条款屡见不鲜,晶圆代工龙头大厂台积电自然不例外;然而,台积电主管级员工离职后跳槽敌营,遭控泄漏营业秘密的情况不算少见,最著名的案例就是前台积电研发大将梁孟松,他也是林本坚昔日同僚。

回想起刚进台积电时,林本坚发现台积电很怕人把机密带出去,觉得很奇怪,因为对他而言,不把机密带出去应该是很合理的事。

林本坚表示,有些人认为研发成果是一己之力达成,并视为自身资产,但他们忽略如果公司没有给予足够的发挥空间、环境,后面的成果谈何而来?假如有人对外泄漏营业秘密,这不仅不尊重同僚、更是不尊重公司的行为。

林本坚强调,公司要能正向发展,团队合作绝对是重中之重,主管也要谨记“互尊”的重要性,才能凝聚各路人才的长处,发挥最大战力。

责任编辑:钟元

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