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【大纪元4月11日讯】 据自由时报4月11日报导，以台大应用力学研究所教授李世光为首的产学合作研究团队昨日宣布，已成功研发出最新型的“绕射式雷射光学尺系统”，其量测准度比日本佳能公司过去不肯卖给台湾的最精密机型还精准十倍！这项研发成果预计在一年内可衍生出领先全球的超精密光学尺产品，将可广泛应用到半导体、光电和精密量测加工产业。
“雷射光学尺”是一种超精密的量测定位仪器，是整合了微型光学系统、次微米光栅尺、创新积体电路应用等三要件，使量测精度达到“次奈米”，也就是比目前常听到的奈米等级还精密十倍的定位量测技术。
雷射光学尺市场过去由日本佳能独霸全球，在国防和商业的双重考量下，日本佳能过去禁止对台湾销售其所生产绕射式雷射光学尺的最精准机型，以免台湾对日本占有的超高精密度工作母机及量测仪器市场造成威胁，台大产学合作团队六年来自立自强，终于自行研发成功比佳能产品精密十至六十倍的雷射光学尺。
总计划主持人李世光教授指出，在半导体产业、液晶萤幕及各种超精密机械系统的上游制程，都会用到“绕射式雷射光学尺”系统，是我国目前两大重要产业的关键零组件技术，台大团队所研发出的新型绕射式雷射光学尺，能够直接跟日本佳能系统相容对换，提升半导体和液晶萤幕制程中的量测精度。
李世光指出，绕射式雷射光学尺所牵涉到的量测与制程设备，每年全球市场总值超过数十亿美元，台大所研发出的系统效能领先全球，不但极具产业竞争力，对提升台湾半导体和液晶萤幕两大科技产业的精密度也将有显着的正面效益，更可提升国内两兆双星产业的设备自制率。
此产学合作计划由国科会和本土厂商华锦光电公司共同出资，六年来共投入六千七百多万元研发，并由台大应力所微奈米机电系统研究群近百位研究人力共同执行，目前已取得国内外十七件专利，并产出十一篇论文。
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《新闻小辞典》绕射式雷射光学尺
传统的光学尺受限于绕射效应，无法量测比光的波长更细微的东西，一般常使用的雷射光波长约为六百多奈米，使传统光学量测一直停留在“次微米”等级。
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