美商应用材料公司南科再生晶圆厂启用

【大纪元6月27日报导】（中央社记者杨思瑞台南县二十七日电）美商应用材料公司今天为设于南部科学工业园区台南园区的十二吋再生晶圆厂举行启用典礼；再生厂目前已进入小规模量产，未来将以独家的再生技术为客户降低晶圆厂营运成本，同时对节约硅晶圆用量将有不小的帮助。

应用材料公司总裁暨执行长麦克．史宾林特（Michael R. Splinter）今天专程由美国来台主持开幕仪式，他在致词时表示，应材公司在台湾拥有最多的半导体晶圆厂客户，在此设立第一座再生晶圆厂不仅可强化客户服务，也是对台湾半导体产业的重大承诺。

应用材料公司全球客户支援服务群台湾暨中国区总经理易锦良表示，应用材料公司继2001年在南崁投资，成立亚太半导体零组件物流中心后，再度投资近新台币九亿元设立再生晶圆厂，除了可减少晶圆使用量、降低营运成本外，也是响应环保、节约资源的作法。

应用材料公司副总裁马克．史塔克（Mark Stark）指出，应材公司运用本身的制造设备与软体，使测试晶圆延续百分之四十五的寿命，每片可重复使用达十一次，并研发独家处理技术，在清除晶圆上所附着以碳为材质的低介电质薄膜时，不会移除晶圆上的硅材质，在再生过程中不会破坏晶圆本身。

应用材料公司南科再生晶圆厂占地约三千一百二十平方米，配有三间洁净室，以先进的制造设备为客户提供再生晶圆技术，目前已进入小规模量产，为三家客户进行再生处理。