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創新化學濾網應用 台積電:減廢效益達16億元

圖為台積電的工廠。(Peellden/維基百科)
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【大紀元2021年08月01日訊】(大紀元記者侯駿霖台灣綜合報導)隨著半導體先進製程不斷演變,氣態分子污染物(AMC)控制技術與晶圓良率的提升,已經密不可分。台積電改良的濾網結構,截至今年6月,共減少濾網廢棄物3,251公噸、碳排放量12,028公噸,相當於31座大安森林公園二氧化碳的年吸附量,成功創造逾新台幣16億元的減廢總效益。

由於AMC控制技術也成為提升晶圓良率的關鍵,台積電觀察廠區使用情況發現,化學濾網對於酸性氣體、鹼性氣體、有機物3種物質的吸附能力不同,所以廠務處、資材供應鏈管理處與供應商合作,研發長效型化學濾網,透過調整濾網吸附有機物的濾料比例,將可使化學濾網壽命翻倍,並從2018年開始大量使用。

AMC為環境中沉降在晶圓表面形成單分子層薄膜的氣態化學汙染物質,因為半導體製程線寬隨著技術進步日益縮小,並且對無塵室生產環境的潔淨程度,要求變得相當嚴格,也造成濾網用量的提高。

為最大化濾網使用效率,台積電在2019年便全面改採拆解式化學濾網,藉由改良濾網吸附效能與結構,已有效減少逾七成的濾網廢棄物。

台積電去年再次攜手供應商以優化濾網結構,利用物理方式恢復其初始吸附效能,讓濾網得以重複使用,今年3月已完成驗證,預估在明年將會陸續導入台灣廠區的所有晶圓廠,有望未來每年再下降兩成濾網廢棄物,總計減廢高達九成之多。

同時,台積電也對外氣空調箱所使用的濾網進行結構改良,透過降低壓損、提升其過濾與節能效果,預計明年導入之後,每年節電可望至3,500萬度,以持續向節能減碳、循環再生的永續目標前進。

傳高雄設廠 台積:不排除任何可能

台積電7奈米廠將於何處落腳,成為擁有科學園區的新竹、台中及高雄等城市的熱門話題。據報導,近期高雄市政府已與台積電當面洽談,除了對台積電設廠規格進行充分了解,也規劃將以楠梓中油高雄煉油舊址,來爭取台積電設廠。

對此,台積電並未正面回應,但仍會維持以往的擴廠節奏,持續和管理局共同評估在新竹、臺中及高雄等適宜半導體建廠的用地,並不排除任何可能性。他們強調,若有後續進展一切以對外公告為主。

責任編輯:玉珍

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