台積電：晶圓七廠氣體外洩不影響正常營運

【大紀元1月26日報導】(中央社記者何易霖新竹二十六日電)台灣積體電路製造公司今天下午位於新竹科學園區的晶圓七廠發生砷化氫氣體外洩工安意外，員工及外包商共二十一人已送醫救治，台積電表示，意外發生後已採取緊急應變，不影響正常營運。

意外事件發生在下午二時五分左右，位於竹科研新二路上的台積電晶圓七廠警報器響起，三名外包商發生嘔吐情形，台積電緊急將附近員工及外包商共二十一人送往新竹馬偕醫院急救，截至記者發稿為止，二十一人仍在醫院觀察中。

台積電表示，意外發生後，公司緊急疏散人員，廠 區隨即於下午三時二十分左右恢復正常運作。

據了解，砷化氫是半導體製程設備必須用到的氣體，主要用於離子植入機，台積電研判此次意外是由機台外洩引起。

台積電晶圓七廠是一座八吋晶圓廠，依台積電九十三年第三季法說會時公布數據，該廠去年前三季實際產能共十二點六萬片，全年產能預估達十六點五萬片。