工研院与聚昌合作开发磊晶设备

【大纪元11月13日报导】(中央社记者张建中新竹十三日电)工研院与国内半导体制程设备厂聚昌科技，合作投入直立式氢化物气相磊晶(VHVPE)设备开发，期能协助台湾光电半导体产业，建立自主的上游磊晶设备制造和研发能力，摆脱我国LED厂长期受国外设备制造商牵制之苦。

工研院表示，LED技术发展由来已久，由于具有无污染、低耗能、长寿命等特性，蕴藏庞大市场商机，近年吸引包括欧、美、日、台湾及大陆等地厂商，积极投入LED 先进技术开发。

工研院预期，今年全球LED市场可望突破60亿美元规模；根据工业局预估，台湾LED产业产值以年复合成长率一成稳定成长，今年可望达新台币640亿元水准。

尽管国外厂商已有类似VHVPE的机台，但目前仍未商业化，因此高单价的氮化镓基板仍是国内厂商之痛；工研院表示，加速建立台湾自主性关键机台与技术，为国内LED产业发展当务之急。

工研院指出，透过结合工研院技术研发能力，与聚昌科技在先进制程设备的长期经验，期能于两年内成功开发出VHVPE机台，并完成机台验证与改善，开发高品质氮化镓基板制造技术。

工研院表示，此一合作案，期能带给我国光电半导体新契机，并提升我国LED业对上游氮化镓单晶基板掌控能力，与国际大厂同步发展。