电子显微镜 锁定奈米制程检测

【大纪元11月28日报导】（中央社记者钟荣峰台北28日电）测试设备大厂爱德万测试(Advantest)推出多功能整合量测扫描式电子显微镜系统，因应1X奈米制程光罩缺陷检测需求。

爱德万测试指出，行动装置终端市场需求强劲，半导体产业在短期内将进入1X奈米制程量产阶段，业界对于超小尺寸元件高稳定性、高精准度图样缺陷检测能力的需求，将明显提高。

在功能上，爱德万测试表示，电子显微镜新品，拥有图样缺陷检测能力，可支援业界将面临的1X奈米制程，除应用在标准半导体微影光罩检测，也可针对EUV光罩、NIL母模等下一代微影基板提供量测效能。

电子显微镜新品的专利运算技术和多重侦测器配置设定，可针对图样宽度、高度与侧边壁面角度，进行即时3D观察量测与识别量测。

相关新品预计在明年（2014年）6月正式上市。