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前研发大将林本坚:台积电技术超车英特尔

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【大纪元2021年12月27日讯】(大纪元记者侯骏霖台湾台北报导)晶圆代工龙头台积电在5奈米制程方面,全采极紫外光(EUV)微影设备,领先全球半导体业,英特尔(Intel)则还未进入EUV量产的阶段。台积电前研发副总、清大半导体研究学院院长林本坚27日透露,英特尔在2002年曾号召企业组成EUV研发联盟,台积电无法加入,因此改采浸润式(Immersion)微影技术,反而超越英特尔。

清大半导体研究学院27日揭牌,由台积电前研发副总林本坚担任院长,林本坚专精微影技术,他接受媒体采访时表示,英特尔与超微(AMD)、IBM等企业,在2002年就成立了EUV LLC联盟,期许共同研发极紫外光(EUV)相关设备,导入60、40奈米制程使用。

林本坚指出,联盟当时有6家厂商,台积电无法加入,只能改采浸润式微影技术,直到5奈米制程才采用EUV技术;EUV LLC联盟中,除了除英特尔外,其他成员最后都没有再持续下去。

林本坚说,半导体应用愈加广泛,如何压低成本达到最好的效果才是真正的挑战,不一定都从EUV技术着手,因为成本较高,可能会划不来。他说,若有其他方式能降低成本,就可以用别的办法,但这不是说半导体不需要微影技术。

至于台积电可能吸走学院培养人才,林本坚表示,清大半导体研究学院与台积电、联电、力积电及美光等11家企业合作;他认为,学院提供学生与各家厂商接触的机会,学生也有望和教授合作,各家厂商应该要自己努力,才能吸引需要的人才。

责任编辑:吕美琪

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