【大纪元2021年08月31日讯】（大纪元记者张原彰台湾台北报导）台积电在31日表示，针对晶圆传送盒清洗机台开发节水控制系统，今年8月成功导入晶圆12B厂、18A厂，并在2022年将全面导入国内12吋厂，目标每年节省38万吨纯水及1533万度电。
台积电表示，今年上半年全台水电供应严峻，内部积极寻找机台的节水省电机会点，发现晶圆传送盒清洗机台因以直接式开关的水阀进行运转，透过不间断输出热水以确保水温稳定，于未运作期间仍需持续供水。
他们说，为提高用水效率，台积电的智能工程中心、晶圆12B厂与供应商分析清洗机台的能耗及运转参数，共同研发渐进式开关的水阀，依据机台使用状态自动控制热水输出流量多寡，当机台未运作时，即以渐进方式减少供水，不仅有效省水，亦能同时节电。
台积电指出，节水控制系统已列为新建厂区晶圆传送盒清洗机台的标准设施，既有的国内12吋晶圆厂区预计于111年第2季前完成系统更新，届时预估每年将节省38万吨纯水及1533万度电。
为更扩大节能效益，台积电表示，将进一步开发晶圆传送盒清洗机台的热水回收循环系统，预计在今年第4季进行评估作业，持续朝机台节能最大化的目标努力。
责任编辑：陈玟绮
