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半导体减碳 制造与设备需合作

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【大纪元9月6日报导】(中央社记者张建中台北6日电)世界半导体协会(WSC)下周将在日本讨论全球半导体业未来10年节能减碳目标,台积电风险管理暨工安环保卫生处副处长许芳铭表示,唯有 WSC与 SEMI合作,才能达成新目标。

国际半导体设备材料产业协会(SEMI)今天在台北召开国际半导体展展前记者会,许芳铭在会中指出,世界半导体协会(WSC)自发性推动全球半导体业减碳行动,并设定10年目标,今年即将验收成果。

许芳铭说,晶圆每单位产出节能 3成,及氟化物(PFC)排放量降到 1997年至1999年平均值 9成等两大目标应可顺利达成。

许芳铭表示,WSC 下周将在日本开会,讨论全球半导体业未来10年节能减碳新目标。

他指出,由于半导体制程设备相当敏感,不易中途改变,业者甚至恐惧改变,过去10年主要是靠半导体厂厂务端努力,才能达成WSC设定的节能减碳目标。

未来10年节能减碳新目标不仅不易订好,许芳铭说,唯有WSC与SEMI合作,促成设备厂与制造厂合作,在机台设计时即导入绿色观念,并建立全球及区域对话机制,新目标才可望顺利达成。

许芳铭表示,全球半导体业在节能减碳方面会对全球做出承诺,并以积极态度作各产业标竿,台湾也将积极参与。

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